Turbomolekulární olejové vývěvy a systémy

KONTAKT

VAKUUM BOHEMIA s.r.o.
Lidická kolonie 47
586 01 Jihlava

Tel: +420 567 322 487
Tel. servis technici: +420 567 330 556
Tel. pohotovost: +420 602 806 203

E-mail: info@vakuum-bohemia.cz

Turbomolekulární vývěvy Welch se používají k výrobě vysokého vakua (HV) a ultra vysokého vakua (UHV) až do mezního tlaku 1x10^-10 mbar s vysokou rychlostí čerpání.

Kromě standardních turbomolekulárních vývěv řady SST, nabízíme turbomolekulární čerpadlové systémy v krytu (řada CDK), dále mobilní provedení s dvoustupňovou olejovou rotační předvývěvou nebo membránovou vývěvou (řada STP).

Princip turbomolekulární olejové vývěvy

Turbo molekulární vývěva přemisťuje molekuly plynu tím, že jim uděluje mechanický impuls. Velmi rychle rotující lopatky srážejí molekuly plynu do nižších stupňů. Kompresní poměr (tj. rozdíl tlaků) na vstupu a výstupu je malý, a proto je nutné zařadit za sebou několik stupňů a použít co nejvyšších otáček (více než 30 000 min^-1). Vývěvy se neobejdou bez předčerpávání, které mohou poskytnout dvoustupňové olejové vývěvy, nebo jednostupňové vývěvy v kombinaci s Rootsovou vývěvou. Vývěvy jsou vhodné pro vytváření vysokého a ultra vysokého vakua. Turbomolekulární vývěvy jsou alternativou k difúzním vývěvám, proti kterým mají výhodu "čistého" vakua (bez olejových par).

Nabízíme tyto 2 typy turbomolekulárních systémů:

Kompaktní turbomolekulární čerpací systémy CDK

Jde o kompletní vývěvy pro generování vysokého vakua a ultra vysokého vakua. Systémy CDK se vyznačují kompaktním designem a uživatelsky přívětivým ovládáním vakuového systému.

Všechny jednotlivé komponenty vakuového systému byly pečlivě navrženy pro tuto funkci. Turbomolekulární vývěvy SST jsou vybaveny hybridními valivými ložisky (keramickými kuličkami) s pevným mazáním, které zabraňují podtlaku, znečištění tuky, oleji nebo jejich rozkladnými produkty. To znamená, že konstrukce vylučuje zbytkové uhlovodíkové plynové spektrum.

Všechny systémy turbomolekulárních čerpadel CDK mají automatické vypínací zařízení pro předvývěvu. Předvývěva se automaticky vypne, jakmile je v nádobě dosažen maximální tlak. Solenoidový ventil, v předním vakuovém potrubí na turbomolekulárním čerpadle, je současně uzavřen. Tím se zabrání zpětnému odvzdušnění turbomolekulárního čerpadla a nádoby.

Mezi jejich klíčové vlastnosti patří:

Životnost vývěv je až 10 000 provozních hodin
Hladina zvuku je výrazně snížena nejméně o 3 dB (A).
Provozní náklady na spotřebu energie jsou sníženy, obzvláště zřetelné při použití několika turbomolekulárních vývěv CDK.

Kompaktní turbomolekulární čerpadlové systémy CDK

Mobilní turbomolekulární čerpací systémy STP

Tyto mobilní jednotky jsou určeny k rychlému generování vysokého vakua.

Turbomolekulární vývěva, regulátor a vakuometry jsou namontovány na středovém hliníkovém profilovém sloupku v optimální pracovní výšce. Předvývěva je pevně uložena na mobilní základové desce, do které je připojen i profilový sloup. Vakuové zařízení (nádoba) může být buď přírubové- namontované přímo na sací otvor turbomolekulární vývěvy, nebo může být vývěva odstraněna z držáku na profilovém sloupku a připojena přímo k nádobě.

Mobilita systému umožňuje umístění co nejblíže ke komoře, což znamená, že jsou potřeba pouze krátký čas vakuování. Krátké vakuové vedení zaručuje nízké ztráty průtoku a následně vysokou rychlost čerpání z nádoby.

Všechny turbomolekulární vývěvy STP / D mají automatické vypínací zařízení pro přední vakuovou membránovou vývěvu. Kombinace předběžného vakua se vypne, jakmile je v nádobě dosažen maximální tlak. Solenoidový ventil, v předním vakuovém potrubí na turbomolekulární vývěvě, je současně uzavřen. Tím se zabrání zpětnému odvzdušnění vývěvy a nádoby.

Mezi klíčové výhody tohoto systému patří:

Jednoduchá obsluha
Mobilita pro práci na více pracovištích
Systém vše v jednom
Připraveno na provoz (plug and play)

Mobilní turbomolekulární čerpací systémy STP

Systémy mobilních turbomolekulárních vývěv obsahují:

SST turbomolekulární vývěvu s integrovaným nízkým vakuovým stupněm.
Typové systémy vývěv STP: Olejovou kombinovanou dvoustupňovou rotační vývěvu a membránovou vývěvou pro eliminaci kondenzace.
Typové systémy vývěv STP / D: MP 601 T suchoběžnou třístupňovou membránovou vývěvu.
Přední vakuometr MRV 100 s měřícím snímačem CAP 121 pro automatické vypínání (pro typ STP / D).
Solenoidový ventil v předním vakuovém potrubí na turbo molekulární vývěvě (pro typ STP / D).
Hliníkový profilový pilíř s upevňovacími a připevňovacími prvky, namontovaný na mobilní základní desce.

Tabulka modelů řady CDK

Model	Čerpací rychlost [m3/h]	Max. vakuum [mbar]	Příkon [kW]	Přípoj	Otáčky [ot. / min]	Váha [kg]	Rozměry [(d x š x v) mm]
CDK 240	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240/1	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 240/1 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 263/1	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263/1 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400

Tabulka modelů řady STP

Model	Čerpací rychlost [m3/h]	Max. vakuum [mbar]	Příkon [kW]	Přípoj	Otáčky [ot. / min]	Váha [kg]	Rozměry [(d x š x v) mm]
STP 1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP 5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700
STP D1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP D5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700

Služby VAKUUM BOHEMIA s.r.o.:

Servis vakuové techniky u zákazníka
Opravy a repase turbomolekulárních vývěv
Návrh a dodávka turbomolekulárních vakuových systémů
Školení v oblasti vakuových řešení

Servis vakuové techniky:

Prodej turbomolekulárních vývěv a vakuových technologií
Pronájem turbomolekulárních vývěv a systémů
Prodej příslušenství (tlumičů, filtrů i frekvenčních měničů)
Poradenství v oblasti vakuových technologií

Využití turbomolekulárních vývěv a systémů v praxi:

Sestava dokáže generovat vysoké a ultravysoké vakuum, a proto se využívá i v metalurgii, kde se aplikuje v procesech jako vakuové leptání, naprašování a napařování.
V oblasti pivovarnictví a sladařství se tyto technologie používají v analytických zkušebních laboratořích, kde se pomocí nich provádí řada analytických rozborů.
V oblasti nanotechnologií a výrobě polovodičů se tato technologie uplatní při elektronové mikroskopii (SEM, TEM), systémech Focused Ion-Beam (FIB) a technikách povrchové analýzy.
Vývěvy bývají součástí detekčních zařízení, kde je potřeba vytvořit hluboké vakuum pro odstranění vlhkosti.
U hmotnostních spektrometrů je používán dvoustupňový vakuový systém. První stupeň zajišťuje rotační olejová vývěva a druhý může zajistit turbomolekulární vývěva.
Realizace nanotechnologií a diagnostika jejich produktů vyžaduje vytvořit prostředí s nízkým tlakem a v mnoha případech hlubokým vakuem. To dokáží generovat turbomolekulární olejové vývěvy a systémy.
Pro povrchové úpravy organických a minerálních skleněných čoček je potřeba ve vakuové komoře vytvořit vakuum až 10^-4 Pa. Pro čerpání se zde používají turbomolekulární a difuzní vývěvy.